Газ сәнәгате белгечлегенә игътибар итегез

Электрон газларга электрон махсус газлар һәм электрон күпчелек газлар керә.Алар интеграль схемалар, дисплей панельләре, ярымүткәргеч яктырту, фотоволтаика һәм башка тармакларның җитештерү процессында алыштыргысыз һәм төп материаллар.Электрон специаль газлар интеграль схема җитештерү өчен кирәкле материаллар.Алар фотолитографиядә, эфирда, кино формалаштыруда, чистартуда, допингта, чүпләүдә һәм башка процесс сылтамаларында киң кулланыла.Аларда ярымүткәргеч сәнәгатенең "ризыгы" һәм "каны" дип аталган чисталык, тотрыклылык, төрү контейнерлары һ.б. өчен югары таләпләр бар.Интеграль схема җитештерү меңләгән процессларны үз эченә ала, алар бик катлаулы һәм йөзләгән электрон специаль газ куллануны таләп итә.Интеграль схема җитештерүдә электрон газларны допинг газларына, ион имплантация газларына, чистарту газларын, төрле газлар һәм фотолитографик газларга бүлеп була;электрон газлар киң кулланыла һәм югары техник таләпләргә ия.Чыганаклар һәм аларның тәэмин итү системалары таләпчән таләпләргә ия.Газ чисталыгы - махсус газ продуктларының төп параметры, ул УЗИ һәм УЗИ таләп итә.Ultrapure газ чисталыгын 4.5N, 5N яки хәтта 6N яки 7Nга җиткерүне таләп итә.Чисталык бер N арткан саен, кисәкчәләр һәм металл пычраклар концентрациясе бер зурлык тәртибе кимегәндә, газ чисталыгы бер зурлык тәртибенә артачак.Процесс катлаулылыгында һәм кыенлыгында зур үзгәрешләр китерү.Катнаш газ өчен пропорциянең төгәллеге төп параметр булып тора.Продукция компонентлары арта һәм әзерлек төгәллеге арта барган саен, газ белән тәэмин итүчеләр еш кына ppm яки хәтта ppb дәрәҗәсе концентрацияләре булган газ компонентларында төгәл операцияләр ясарга тиеш.